Boron11 trichlorure semi-conducteur dopant semi-conducteur gravure à sec
Présentation du produit
À la température et à la pression normales, le trichlorure de bore (BCL 3 ) est un gaz fumé incolore, qui est inflammable, piquant et odeur acide. Le trichlorure de bore se décompose dans l'acide chlorhydrique et l'acide borique et libère beaucoup de chaleur rencontrant avec de l'eau, il génère de la fumée dans l'air humide en raison de l'hydrolyse et Bcl 3 se décompose dans l'acide chlorhydrique et l'ester d'acide borique dans l'alcool. Le trichlorure de bore a une forte capacité de réaction et peut former une variété de composés de coordination. Le trichlorure de bore peut réagir avec du verre et de la céramique lorsqu'il est chauffé, et il réagit également avec de nombreux composés organiques pour former une variété de composés organoboron. Le trichlorure de boron11 de haute pureté est principalement utilisé pour le dopage de diffusion dans le processus de fabrication des dispositifs semi-conducteurs (en silicium). Les impuretés de bore sont générées par décomposition de BCL 3 et diffuse vers le silicium pour former un semi-conducteur de type P à haute température. BCL 3 peut également être utilisé pour la gravure à sec d'Al, Mosi 2 , Tasi 2 , Tisi 2 , WSI et d'autres matériaux.
Spécification de qualité
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items
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Units
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Index
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Boron11 Trichloride≥
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Vol.%
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99.9995
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Oxygen+Argon<
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Vol.ppm
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1
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Nitrogen<
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Vol.ppm
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4
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Ca
rbon monoxide<
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Vol.ppm
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0.5
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Carbon dioxide<
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Vol.ppm
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0.2
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Methane <
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Vol.ppm
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0.5
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Total impurity content≤
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Vol.ppm
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5
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Metal ion
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Vol.ppm
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Supply and demand agreement
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Application
Le trichlorure de bore peut être utilisé pour fabriquer un bore pur élevé, un catalyseur pour la synthèse organique, un agent de fluxage pour la décomposition du silicate, et il a également utilisé comme additif du désoxydant, des nitrures et des carbures dans le raffinage en alliage. Le trichlorure de boron11 pur élevé est principalement utilisé dans le dopage de diffusion, l'implantation ionique, la gravure sec et d'autres processus dans les dispositifs de semi-conducteurs et la fabrication de circuits intégrés.
Emballage et stockage
Le trichlorure de boron11 est rempli dans le cylindre. Le cylindre rempli de trichlorure de Boron11 est conforme aux dispositions pertinentes de GB14193. Les spécifications d'emballage comprennent 10L et 47L.Le produit est stocké dans un magasin ombragé, sec et ventilé en dessous de 60 ℃ . Il est interdit d'exposer au soleil et s'éloigne des sources de chaleur. L'ensemble doit être scellé et il doit être stocké séparément avec de l'alcali et d'autres articles dangereux.
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