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L'innovation des matériaux de gravure ZSEM répond aux exigences difficiles de la croissance continue, et maintenant une variété de gaz contenant du fluor de haute pureté peuvent être produits pour servir les usines de puces et faire des puces de la plaque de taille toujours décroissante.
Le gaz de gravure fabriqué par notre entreprise est généralement des gaz de fluorure, notamment le trichlorure de bore 11, le perfluoro butadiène, le fluorure carbonyle, le trifluoroiodométhane, le difluorure de xénon, l'octafluoropropane, le trifluorure d'azote, le tétrafluorure de carbone, le fluorure d'hydrrogène de haute purrogène, etc.
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