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Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
Type de paiement: L/C,T/T,Paypal
Incoterm: FOB,CIF,DDP
C4F6 CAS: 685-63-2 Hexafluoro-1 3-butadiène 99,99% 4n
agent de gravure de la puce
Utilisation des produits
L'hexafluoro-1,3-butadiène (C 4 F 6 ) est une sorte de gaz incolore, inodore et insoluble dans l'eau. À la température et à la pression normales, son point de fusion est de 132,0 ℃, le point d'ébullition est de 5,9 ℃ .Hexafluoro-1,3-butadiène est une sorte d'oléfines conjuguées qui contient six atomes de fluor et deux doubles liaisons carbone-carbone, comme une sorte d'excellente Le gaz de gravure, en raison de son rapport F / C unique, Hexafluoro-1,3-Butadinenehas de sélectivité, de précision et de rapport d'aspect de gravure plus élevée que celles du gaz de gravure de fluorocarbone saturé perfluoriné traditionnel, l'hexafluoro-1,3-butadiène peut gravir moins de 100 nm nm Circuit électronique encore plus étroit. De plus, C 4 F 6 a un rapport sélectif plus élevé de nitrure de photororésistaire et de silicium que celui de C 4 F 8 , ce qui peut améliorer la stabilité de la gravure, le taux de gravure et l'uniformité, et ainsi améliorer la qualité du produit.
Paramètre du produit
|
Items |
Unit |
Index |
|
C4F6 |
Vol.% |
≥99.99 |
|
N2 |
Vol.ppm |
≤10 |
|
O2+Ar |
Vol.ppm |
≤2 |
|
H2O |
Vol.ppm |
≤3 |
|
CO2 |
Vol.ppm |
≤10 |
|
CO |
Vol.ppm |
≤3 |
|
Isopropanol |
Vol.ppm |
≤5 |
|
Other fluorocarbon |
Vol.ppm |
≤70 |
|
Measured by HF） |
Wt.ppm |
≤2 |
Application
Utilisé comme gaz de gravure pour la gravure du plasma des produits semi-conducteurs.
Emballage et stockage
L'hexafluoro-1,3-butadiène est rempli en cylindres en acier avec le modèle de B10, taille de 14 cm × 83 cm, volume interne de 10,1 L, poids brut de 14,7 kg, charge utile de 10 kg. Les spécifications d'emballage peuvent être personnalisées en fonction des exigences des clients.
Groupes de Produits : Semi-conducteurs électroniques matériaux chimiques > Matériaux de gravure semi-conducteurs / plaquettes
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