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Shandong Zhongshan Photoelectric Materials Co., Ltd
Modèle: Xenon Difluoride CAS: 13709-61-0
Type de paiement: L/C,T/T,Paypal
Xenon Difluorure CAS: 13709-61-0 XEF2 99,9% 3N pour la gravure du semi-conducteur
Le difluorure de xénon se décompose dans des solutions neutres ou alcalines et est relativement stable dans les solutions acides. La solution aqueuse a une odeur piquante. La vapeur de difluorure de xénon est incolore et a une puanteur nauséabonde. Dans l'industrie de l'électronique, XEF2 est souvent utilisé comme gaz de gravure pour le silicium. Étant donné que la réaction chimique entre XEF2 et le silicium est une réaction spontanée, XEF2 a une sélectivité très élevée dans le processus de gravure du silicium. Dans le processus de gravure du silicium par XEF2, le gaz XEF2 en diffusant librement à la surface du substrat de silicium, et en réagissant chimiquement avec les atomes de silicium les plus externes pour générer du XE gazeux et du Sif4 gazeux, la corrosion du silicium est réalisée.
Paramètre du produit
|
Xenon difluoride（XeF2）≥ |
Vol.% |
99.9 |
|
Kalium（K）≤ |
mg/kg |
0.18 |
|
Calcium（Ca）≤ |
mg/kg |
0.15 |
|
Sodium（Na）≤ |
mg/kg |
0.70 |
|
Magnesium（Mg）≤ |
mg/kg |
0.12 |
|
Aluminum（Al）≤ |
mg/kg |
0.17 |
|
Zinc（Zn）≤ |
mg/kg |
0.30 |
|
Iron（Fe）≤ |
mg/kg |
1.21 |
|
Plumbum（Pb）≤ |
mg/kg |
0.07 |
|
Cuprum（Cu）≤ |
mg/kg |
0.05 |
|
Chromium（Cr）≤ |
mg/kg |
0.15 |
|
（Mn）≤ |
mg/kg |
0.04 |
|
Manganese（Mo）≤ |
mg/kg |
0.15 |
|
Nickel（Ni）≤ |
mg/kg |
0.83 |
|
Phosphorus（P）≤ |
mg/kg |
0.14 |
Application
Le difluorure de xénon est une sorte de fluridiseur sélectif, qui est largement utilisé dans la préparation du fluorure inorganique et de la synthèse organique, mais uniquement en phase gazeuse et en solution non aqueuse qu'il peut utiliser comme fluridiseur, et uniquement en solution aqueuse qu'elle peut utiliser comme oxydant. De plus, XEF 2 est généralement utilisé comme gaz de gravure du silicium dans l'industrie de l'électronique.
Emballage 、 Stockage
Le difluorure de xénon est un composé stable et il peut être stocké dans des conteneurs en nickel ou un cylindre transparent en alliage en aluminium pendant longtemps. Afin de satisfaire aux différentes exigences des instituts de recherche scientifique et des entreprises, les spécifications d'emballage comprennent 100 g, 500g, 1 kg, 2 kg et 5 kg, etc. Les spécifications spécifiques de l'emballage peuvent être personnalisées en fonction des besoins des utilisateurs. Le difluorure de xénon doit être stocké dans un magasin ombragé et ventilé, séparé de l'oxydant 、 Food Chemicals 、 Métal alcalin, tenu à l'écart des sources d'incendie.
Groupes de Produits : Semi-conducteurs électroniques matériaux chimiques > Matériaux de gravure semi-conducteurs / plaquettes
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