Hexafluorure de soufre CAS: 2551-62-4 SF6 99,999%
5N Gas spécial électronique de haute pureté
Utilisation des produits
L'hexafluorure de soufre est un gaz inerte incolore, sans odor, non toxique, non inflammable avec un poids moléculaire de 146,07, un point de fusion de -51 ° C et un point d'ébullition de -64 ° C. La structure moléculaire de l'hexafluorure de soufre est disposée en octaèdre, la distance de liaison est petite et l'énergie de liaison est élevée, donc sa stabilité est élevée. L'hexafluorure de soufre de haute pureté de grade électronique est un gravant idéal. L'hexafluorure de soufre peut être utilisé pour gravir la surface du silicium et éliminer les membranes organiques ou inorganiques sur des matériaux semi-conducteurs, et peut être utilisé dans la fabrication de fibres optiques.
Spécification de qualité
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Items
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Units
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Index
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（SF6）Sulfur
hexafluoride
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Vol./%
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≥99.999%
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Oxygen+Argon（O2+Ar）≤
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Vol.ppm
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≤2
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Nitrogen（N2）≤
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Vol.ppm
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≤2
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Carbon tetrafluoride（CF4）≤
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Vol.ppm
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≤1
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Carbon monoxide（CO）≤
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Vol.ppm
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≤0.5
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Carbon dioxide（CO2）≤
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Vol.ppm
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≤0.5
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Methane（CH4）≤
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Vol.ppm
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≤0.5
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Moisture（H2O）≤
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Vol.ppm
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≤3
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Acidity（以HF计）≤
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μg
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≤0.1
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Hydrolytic fluoride（以HF计）≤
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μg
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≤0.8
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Total impurity content≤
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μg
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≤10
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Particle
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μg
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Supply and demand agreement
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Application
L'hexafluorure de soufre pur élevé de qualité électronique est un agent de gravure électronique idéal, qui est largement utilisé dans le domaine de la technologie de microélectronique, il est utilisé comme agent de gravure et de nettoyage du plasma dans la fabrication de grands circuits intégrés tels que les puces informatiques et LCD. L'hexafluorure de soufre est utilisé comme source de fluor pour produire du verre dopé au fluor dans la préparation de la fibre optique. De plus, l'hexafluorure de soufre peut également être utilisé comme gaz isolant, agent traceur et réfrigérant.
Emballage 、 Stockage
L'hexafluorure de soufre est stocké dans des cylindres transparents standard, le volume généralement du cylindre est de 40L, le type de cylindre est CGA590 QF-2 et la pression du cylindre est de 8,0 MPa et 12,5MPa. Des spécifications d'emballage spécifiques peuvent être personnalisées en fonction des besoins des utilisateurs. L'hexafluorure de soufre est stocké dans un magasin ombragé et ventilé loin du feu et de la source de chaleur, la température du magasin ne dépasse pas 30 ℃. Il doit être stocké séparément avec un agent inflammable (combustible) et oxydant. La zone de stockage doit être équipée d'un équipement d'urgence pour l'urgence.
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