Hexafluoroethane CAS: 76-16-4 C2F6 Hight Pureté
99,999% 5n pour le gaz gravant semi-conducteur
Présentation du produit
L'hexafluoroéthane (C 2 F 6 ), également connu sous le nom de perfluoroéthane, est une sorte de gaz inerte incolore, sans odor et non inflammable. À une température et une pression normales, son point de fusion est de 100,6 ℃, le point d'ébullition est de 78,2 ℃, légèrement soluble dans l'eau. L'hexafluoroéthane est produit par la réaction de R125 et de gaz fluor, puis a obtenu des produits de qualité électronique après purification et rectification. En raison de sa stabilité non toxique, inodore et élevée, l'hexafluoroéthane est largement utilisé dans le processus de fabrication de semi-conducteurs. L'hexafluoroéthane, en tant que gravant sec, présente les avantages d'une gravure de très petite gravure côté bord, d'un taux de gravure élevé et d'une précision élevée, qui peut répondre aux exigences du processus de fabrication de semi-conducteurs pour une petite largeur de ligne.
Spécification de qualité
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Items
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Unit
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Indexs
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C2F6
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Vol.%
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≥99.999
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O2+Ar
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Vol.ppm
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＜1
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N2
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Vol.ppm
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＜5
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CO
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Vol.ppm
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＜0.5
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CO2
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Vol.ppm
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＜0.5
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H2
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Vol.ppm
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＜0.5
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Halohydrocarbon
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Vol.ppm
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＜5
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CH4
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Vol.ppm
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＜1
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H2O
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Vol.ppm
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＜2
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Acidity（Measured by HF）
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Wt. ppm
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＜0.1
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Total impurity content
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Mol.ppm
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≤10
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Application
L'hexafluoroéthane de qualité électronique est principalement utilisé dans le processus de fabrication des matériaux semi-conducteurs et des dispositifs semi-conducteurs comme agent de gravure et agent de nettoyage, ainsi que le gaz d'isolation et le liquide de refroidissement à haute résistance diélectrique.
Emballage et stockage
L'hexafluoroéthane est rempli de cylindres résistants à la haute pression qui sont équipés de vannes en laiton avec un joint correspondant pour les raccords standard remplaçables de type 320 CGA. Les spécifications d'emballage peuvent être personnalisées en fonction des exigences des clients.
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