Tetrafluorure de Tetrafluorure de haute pureté: 7783-61-1 SIF4 99,999%
5N GASES DE SPÉCIALITÉ ELECTRONIQUE CHIMIQUE
Présentation du produit
Le tétrafluorure de silicium (SIF 4 ) est une sorte de gaz incolore, toxique, piquant et malodorant avec un poids moléculaire de 104,06. Le tétrafluorure de silicium est facilement délicadécent et peut produire de la fumée épaisse dans l'air humide. Le tétrafluorure de silicium est soluble dans l'éthanol, l'éther, l'acide nitrique, l'acide hydrofluorique, son hygroscopicité est très forte et SIF 4 se transforme en liquide sous pression, le tétrafluorure de silicium a une large gamme d'applications dans l'industrie électronique.
Spécification de qualité
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Items
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Units
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Index
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Silicon tetrafluoride（SiF4）≥
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Vol.%
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99.999
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Hydrogen（H2）≤
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Vol.ppm
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1
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Oxygen + Argon（O2+Ar）≤
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Vol.ppm
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0.5
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Nitrogen（N2）≤
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Vol.ppm
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4
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Carbon monoxide（CO）≤
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Vol.ppm
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0.1
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Carbon dioxide（CO2）≤
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Vol.ppm
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0.3
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Methane（CH4）≤
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Vol.ppm
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1
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Hydrogen sulfide（SH2）≤
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Vol.ppm
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0.1
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Oxygen（O2）≤
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Vol.ppm
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0.1
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Sulfur dioxide（SO2）≤
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Vol.ppm
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10
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Total impurity content≤
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Vol.ppm
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1
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Hexafluorodimethyl silicone ether
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Supply and demand agreement
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Supply and demand agreement
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As、B、P
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Supply and demand agreement
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Supply and demand agreement
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Particle
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Supply and demand agreement
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Supply and demand agreement
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Application
Le tétrafluorure de silicium est principalement utilisé comme dopant de type p, agent de gravure et dépôt épitaxial de diffusion Source en silicium de nitrure de silicium et de silicide de tantale dans l'industrie électronique, et le SIF 4 peut également être utilisé pour préparer la silane ou le silicium électronique. De plus, le tétrafluorure de silicium peut être utilisé pour produire des cellules solaires, de l'acide fluorosilique et du fluorure de silicium, du ciment et du durcisseur du marbre artificiel.
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