Hexafluorure de tungstène CAS: 7783-82-6 WF6
Matériau de semi-conducteur de 99,999%
Présentation du produit
L'hexafluorure de tungstène est une sorte de gaz incolore à température ambiante, il est fort piquant, toxique et similaire à la toxicité du fluor, sa formule moléculaire est WF 6 et le poids moléculaire est de 297,830, le point d'ébullition est de 17,5 ℃ et le point de fusion est de 2,3 ℃ . L'hexafluorure de tungstène peut être dissous dans des solvants organiques et se décomposer dans l'eau, il se décompose également par l'humidité dans l'air puis fume fortement. Sa propriété chimique est active, et elle peut réagir avec presque tous les métaux (sauf l'or et le platine) et corroder le nickel, les alliages monels et l'acier inoxydable. L'hexafluorure de tungstène est le seul produit régulièrement et industriellement parmi le fluorure du tungstène, et il est utilisé comme matière première du processus de dépôt de vapeur chimique (CVD) du tungstène dans l'industrie électronique, qui est son principal domaine d'application. En particulier, WSI 2 fabriqué à partir de WF 6 peut être utilisé comme matériau de câblage dans un circuit intégré à grande échelle (LSI).
Spécification de qualité
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Items
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Units
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Index
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Index
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Index
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Tungsten hexafluoride≥
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Vol.%
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99.9
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99.999
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99.9995
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Carbon tetrafluoride（CF4）≤
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Vol.ppm
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10
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0.5
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0.5
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Nitrogen（N2）≤
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Vol.ppm
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50
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1
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0.5
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Oxygen+ Argon（O2+Ar）≤
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Vol.ppm
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50
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0.5
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0.5
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Carbon dioxide（CO2）≤
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Vol.ppm
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-
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0.5
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0.5
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Carbon monoxide（CO）≤
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Vol.ppm
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-
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0.5
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0.5
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Sulfur hexafluoride（SF6）≤
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Vol.ppm
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10
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0.5
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0.5
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Silicon tetrafluoride（SiF4）≤
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Vol.ppm
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10
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0.5
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0.5
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Hydrogen fluoride（HF）≤
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Vol.ppm
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800
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1
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1
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Application
L'hexafluorure de tungstène peut être utilisé comme matière première du processus de dépôt de vapeur chimique (CVD) du tungstène dans l'industrie électronique, peut également être utilisé comme électrode semi-conducteur et pâte conductrice. De plus, l'hexafluorure de tungstène est largement utilisé comme fluridiseur, catalyseur de polymérisation et matières premières des matériaux optiques.
Emballage 、 Stockage
L'hexafluorure de tungstène est stocké dans des cylindres sans couture standard, les spécifications d'emballage incluent 8L, 44L et 47L respectivement. Des spécifications d'emballage spécifiques peuvent être personnalisées en fonction des besoins des utilisateurs. L'hexafluorure de tungstène est stocké dans un magasin ombragé, sec et ventilé loin du feu et de la source de chaleur. La zone de stockage doit être équipée d'un équipement pour l'urgence.
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