Trifluoride d'azote CAS: 7783-54-2 NF3
99,5% de gaz de gravure de plasma
Présentation du produit
Le trifluorure d'azote (NF 3 ) est une sorte de gaz incolore, inodore et stable de caractère, c'est aussi une sorte d'oxydant fort. À une température et une pression normales, son point de fusion est de 206,8 ℃, le point d'ébullition est de 129,0 ℃, insoluble dans l'eau. Le trifluorure d'azote dans l'industrie de la microélectronique est une sorte d'excellente gravure du gaz plasmatique, qui est craqué en ion fluor actif pendant le processus de gravure du plasma. Pour la gravure plasmatique du silicium et du nitrure de silicium, l'utilisation de trifluoride d'azote a un taux de gravure et une sélectivité plus élevés que l'utilisation de tétrafluorure de carbone ou de tétrafluorure de carbone et de gaz mixte à l'oxygène, en particulier dans le processus de gravure du circuit intégré avec l'épaisseur de moins de 1,5 μm, Le trifluoride d'azote a un excellent taux de gravure et sélectivité, de plus, il n'y a pas de pollution à la surface du matériau gravé, c'est aussi un bon agent de nettoyage.
Spécification de qualité
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Project
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Unit
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index
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（NF3）≥
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Vol.%
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99.5
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99.9
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99.98
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99.99
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99.996
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（CF4）≤
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Vol.ppm
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1500
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500
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100
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50
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20
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（N2）≤
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Vol.ppm
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700
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50
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10
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10
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5
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（O2+Ar））≤
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Vol.ppm
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700
|
50
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10
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5
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3
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（CO）≤
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Vol.ppm
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50
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10
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10
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5
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1
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（CO2）≤
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Vol.ppm
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25
|
10
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10
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5
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0.5
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（N2O）≤
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Vol.ppm
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50
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10
|
10
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5
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1
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（SF6）≤
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Vol.ppm
|
50
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50
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10
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5
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2
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Hydrolyzable fluoride
（Measured by HF）≤
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Vol.ppm
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1
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1
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1
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1
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1
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（H2O）≤
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Vol.ppm
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1
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1
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1
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1
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1
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Application
Le trifluorure d'azote peut être utilisé comme source de fluor de gaz laser chimique à haute énergie et comme agent de gravure pour les matériaux semi-conducteurs tels que le polysilicon, le nitrure de silicium et le silicide au tungstène. Il peut également être utilisé comme agent de nettoyage pour la chambre de dépôt de vapeur chimique et le panneau LCD. Le trifluorure d'azote est utilisé comme agent de nettoyage pour la boîte CVD, ce qui peut réduire les émissions de polluants de 90% par rapport aux perfluorocarbures, et améliorer considérablement la vitesse de nettoyage et la capacité de nettoyage.
Emballage et stockage
Le trifluorure d'azote est rempli dans un cylindre transparent en acier avec le volume de 8L, 40L, 43,3 L et 47L, respectivement. Le modèle du cylindre est DOT-3AA, GB 5099, la pression du cylindre est de 9,0-13,0 MPA. Les spécifications d'emballage peuvent être personnalisées en fonction des exigences des clients.
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